본 연구에서는 자화플라즈마(magnetized plasma) 환경에서 마이크 로웨이브 컷오프 프로브(microwave cutoff probe)의 측정 특성이 어 떻게 변화하는지를 정량적으로 규명하고자 하였다. 특히 컷오프 프...

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고양 : 한국항공대학교 일반대학원, 2026
학위논문(석사) -- 한국항공대학교 일반대학원 , 반도체학과 , 2026. 2
2026
한국어
경기도
; 26 cm
지도교수: 이효창
I804:41048-200000965079
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본 연구에서는 자화플라즈마(magnetized plasma) 환경에서 마이크 로웨이브 컷오프 프로브(microwave cutoff probe)의 측정 특성이 어 떻게 변화하는지를 정량적으로 규명하고자 하였다. 특히 컷오프 프 로브의 두 안테나(송신–수신 팁) 사이를 따라 전파되는 전기장의 진행 방향과, 플라즈마에 인가되는 외부 자기장의 세기 및 방향(0° –90°)이 투과 스펙트럼과 컷오프 주파수에 미치는 영향을 컷오프 프로브 구조에 따른 변화에 따른 계산 및 분석을 하였다. 이를 위해 전자기장 해석 시뮬레이션인 CST Microwave Studio를 활용하여, 자화 조건에 따른 플라즈마의 유전율 텐서 변화에 따른 컷오프 주 파수의 특징을 분석하였다. 시뮬레이션에서는 자기장 세기(50–200 Gauss), 자기장과 프로브 축 사이의 상대 각도, 그리고 구조적 파라미터(팁의 길이 간격, 구조 등)를 변화시키며 투과 계수(S21) 스펙트럼을 도출하였고, 이를 통 해 실제 컷오프 프로브가 비등방성 매질(anisotropy)인 자화플라즈 마에서 나타내는 주파수 천이 정도를 비교 분석하였다. 또한 자화플 라즈마에서 플라즈마 유전율이 스칼라가 아닌 비등방성 텐서로 기 술됨에 따라, X-wave 및 O-wave와 같은 모드별 전파 특성과 cutoff 조건이 어떻게 달라지는지 이론 모델과 시뮬레이션 결과를 연계하여 고찰하였다. 본 연구의 분석 결과는 자화된 공정 플라즈마 및 전자기장 기반 플 라즈마 진단 장치 설계 시, 컷오프 프로브의 전파 방향성과 자기장 조건이 cutoff 주파수 측정 정확도에 미치는 영향을 분석하여 자화 플라즈마에서 마이크로웨이브 컷오프 탐침 구조의 가이드라인을 제 시하는데 기여할 것으로 기대된다.
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